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碳化硅片

浏览次数: 发布日期:2020-01-19

抛光案例:碳化硅片

 


应用机型:四工位精密CMP抛光机 KD36QS4




应用领域

半导体材料:Si、Ge、GaAs、蓝宝石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板

精密光学:光学晶体、光学镜头、玻璃基板、ITO玻璃、蓝宝石玻璃、滤波材料等

晶体材料:铌酸锂、鉭酸锂、YAG、石英、红外材料等


加工示意图




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